乐鱼体育-中科行智加速创新研发，3D飞点分光干涉仪助力半导体晶圆检测发展

跟着现代电子装配对小型化、轻量化、高机能化、多功能化、低功耗化和低本钱化方面的要求不竭提高，IC芯片的特点尺寸不竭缩小，且集陈规模敏捷扩年夜，芯片封装手艺也在不竭改革，凸点加工工艺（Bumpprocessflow）也是以成长起来。

为确保出产的芯片质量及格，晶圆检测这一环节在半导体出产中变得尤其要害。在晶圆出产和质量节制进程中，晶圆检测可年夜年夜提高出产效力和产物质量。是以，晶圆检测是半导体企业中不成或缺的环节。

1、案例需求：

晶圆概况描摹检测、bump球高度检测

2、解决方案：

采取中科行智3D飞点分光干与仪系列，收集点云数据，用GIVS 3D进行检测。

- 检测什物图 -

3、软件东西：

平面校订、平面拟合、点云转深度图、多点高度丈量等

- 检测成果 -

4、检测方案：

（1）点云数据收集；

（2）进行点云数据校订，将点云转成深度图；

（3）选择丈量区域，进行多点高度丈量。

- 检测点云图 -

- 点云细节图 -

3D飞点分光干与仪是专业用在超高精度、镜面高反光和透明材质的纳米级丈量仪。采取谱域白光干与道理，实现300nm Z向绝对精度、30nm Z向反复精度，扫描帧率70kHz，最年夜直径80mm，可合用在丈量强反射、弱反射和透明物体等多种物体，分光模块与光学振镜模块分手设计，插手光学振镜扫描可替换昂贵的高周详位移台。

可普遍利用在半导体晶圆、金线、BGA、AR镜片、周详接插件等亚微米级此外3D丈量。

姑苏中科行智智能科技有限公司是由中科姑苏机械视觉手艺研究院孵化的一家高科技企业。草创人员均来自在国内知名乐鱼体育app科研机构的中青年科学家、根本手艺研究人员、知名IT企业高层治理人员和手艺主干，在前沿手艺研究、手艺财产化、企业治理和运营等方面堆集了丰硕的经验。

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